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多靶位磁控溅射

设备简介：

→ HANA 彩色膜溅射镀膜机是一款手机和汽车等领域的各种配件镀颜色膜、增透膜的多功能磁控溅射镀膜设备。 →本设备是单体单开门结构，内部装有多个靶位，该产品采用4对（8个）靶位的设计，可以进行多层不同材料的连续镀膜，可实现500纳米以上的超厚膜层镀膜。（靶位可以根据客户需要增加） →腔体内产品挂具可拆卸并可以毎分钟60转以上的高速旋转，旋转速度可以通过触摸屏幕可无级调速，并可直观展示整个设备运行状态。

AR膜，各种颜色膜、手机面板、车载面板、手机摄像头盖板、手机彩色盖板等。

稳定的溅射反应镀膜技术
公司特有的靶管结构设计，多段气路控制技术，恒压控制气量，可实现稳定控制磁控溅射速率，
使用在线实时监测膜厚设计，保证了膜层的均匀性和产品的一致性，实现各种气体的反应膜层的均匀和颜色的一致。

◆真空室尺寸： VSD 1621 (1600*2100) (尺寸可根据要求定制）
VSD 1821 (1800*2100) (尺寸可根据要求定制）
VSD 2527 (2500*2700) (尺寸可根据要求定制）

◆真空系统：超低温冷冻单元（达到-135°以下）机械泵（RP）+罗茨泵（MBP）+分子泵（TMP）
◆工艺电源：中频电源
◆控制系统：进口可编程控制器、触摸屏；