1.真空室尺寸 ：φ1000×1200；φ1200×1300；φ1400×1300；φ1600×1300； 材料：SUS304。
2.真空室结构 ：立式前开门结构、后置抽气系统。
3.真空系统 ：机械泵+罗茨泵+扩散泵+维持泵（或配选分子泵、深冷泵、深冷系统）。
4.循环冷却水装置 ：双层水套式或水槽式冷却系统。
5.工艺电源 ：直流电源、中频电源、电弧电源、灯丝电源、活化电源、脉冲偏压电源。
6.多弧靶 ：多弧靶5个或18个，1个或2个柱弧靶。
7.孪生靶 ：中频孪生柱靶或平面靶（1～4对）。
8.加热系统 ：常温至350度可调可控(PID温控)，不锈钢加热管加热。
9.充气系统 ：质量流量控制仪（1～4路）。
10.极限真空 ：6×10-4Pa（空载、净室）。
11.抽气时间 ：空载大气抽至5×10-3Pa小于13分钟。
12.工件旋转方式 ：上旋转或下旋转+公自转无极可控调控，0-20转/分。
13.控制系统 ：可编程控制器，触摸屏。
镀膜材料 ：适用各种金属镀膜（TiN、TiCN、CrN、TiALN、TiNbN、TiCrN、TiNC及各类金钢石膜DLC金属材料）。
镀膜品质 ：膜层密度高、附着力强、沉积速度快等。
镀膜种类 ：多功能金属膜、复合膜、透明导电膜、增返射膜、电磁屏蔽膜、装饰膜等。
占地面积 ：比同类设备安装面积和操作面积相对较小。
操作方法 ：人机界面可以直观的进行设置和监控，设有管理密码，无关人员无法更改。
沪公网安备31011602002526号
