连续式双腔磁控溅射光学镀膜机

设备介 绍

连续式双腔磁控溅射光学镀膜机是一款应用于光学镀膜、3D车载中控屏超硬AR膜、手机相机高清光学镜头超硬AR膜，手机后盖NCVM颜色膜等领域的镀膜设备。

该设备主要由三个部分组成：

前工艺室上下基片和做基片的预处理，溅射镀膜腔一直保持高真空状态下溅射镀膜，保持镀膜环境的一致，两个腔室之间通过移载来转换基片挂板。溅射镀膜腔有4对双靶位，根据需要安装4对相同或不同的靶材，每队靶材可以单独开启或同时开启，可以满足不同膜层设计要求，方便的结构设计更换靶材更加轻松便捷。溅射镀膜腔室带有国际最先进的射频CCR的后氧化功能，不仅提高靶材成膜速度，而且膜层硬度达到超硬膜层，膜层更耐划伤。还可以加其他气体得到更坚硬的特殊膜层。

前工艺室：

1．装有离子源清洗装置，清洗基片表面油污和增强附着力

2．装有两个靶位可以镀金属膜，减少对镀膜室污染

3．AF药丸加热防指纹镀膜，利用率高，成本低，效果更优

4．双开门结构，无缝衔接的连续生产，节省整个镀膜节拍时间

溅射镀膜室：

1．采用4对（8个）靶位的设计，可以进行多层不同材料的连续镀膜

2．先进的德国CCR镀膜工艺做后氧化处理，对膜的质更优

3．工装板机械结构传递，在真空环境下不污染，加快镀膜节拍

4．末端采用开门式布局，使用中的保养和维修更便捷

设备特点

1.  双腔体结构两个独立的腔室镀膜腔，同时进行镀膜。

2.  射频CCR后氧化镀膜技术镀膜速度快，膜层致密性高。

3.  AF 防指纹药丸方式，使用成本低，效果更优。

4.  7平方的装载量超快的镀膜速度单台机的5倍产能。

应用领域

手机面板、车载面板、平板电脑、家电等触控面板

莫氏7以上超硬AR膜、超硬减反膜、HR膜、UV/IR截止滤光片，装饰膜、带通滤光片