磁控溅射光学镀膜机

设备介 绍

磁控溅射光学镀膜机是一款手机和汽车等领域的各种配件镀颜色膜、增透膜的多功能磁控溅射镀膜设备。

本设备是单体单开门结构，内部装有多个靶位，该产品采用10个靶位的设计，可以进行多层不同材料的连续镀膜，可实现500纳米以上的超厚膜层镀膜。（靶位可以根据客户需要增加）

腔体内产品挂具可拆卸并可以每分钟60转以上的高速旋转，旋转速度可以通过触摸屏幕可无级调速，并可直观展示整个设备运行状态。

应用领域

AR膜，各种颜色膜、手机面板、车载面板、手机摄像头盖板、手机彩色盖板等

核心技术

稳定的溅射反应镀膜技术 
公司特有的靶管结构设计，多段气路控制技术，恒压控制气量，可实现稳定控制磁控溅射速率，使用在线实时监测膜厚设计，保证了膜层的均匀性和产品的一致性，实现各种气体的反应膜层的均匀和颜色的一致。

设备组成

◆真空室尺寸：VSD 1621 （1600*2100） 
                      VSD 1821 （1800*2100） 
                      VSD 2527（2500*2700）
◆真空系统：超低温冷冻单元（达到-135°以下）机械泵（RP）+罗茨泵（MBP）+分子泵（TMP）
◆工艺电源：中频电源
◆控制系统：进口可编程控制器、触摸屏