多轴车灯真空镀膜机
设备介 绍
多轴车灯真空镀膜机是我司开发的一款具备生产节拍短、高稳定性的双开门真空蒸发镀膜机,镀膜过程全自动化,全过程监控记录镀膜数据。
特点
国外镀膜机加工工艺制作,结构合理、性能稳定、内部有多项专利结构、操作便捷。
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技术参数 |
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真空室尺寸 |
1600×1800(可定制) |
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工件盘尺寸 |
6-Φ480/8-Φ420 x 1600(H) |
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工件盘转速 |
0-30rpm |
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镀膜物质 |
铝 |
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蒸发源 |
加热丝 |
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离子源 |
PLASMA+硅油保护膜 |
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高真空排气系统 |
36‘DP/2-28‘DP |
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低真空排气系统 |
630机械泵+1200罗茨泵 |
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性能 |
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真空极限 |
3.0×10-4Pa以下 |
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排气时间 |
8min(大气压~3.0×10-3Pa) |
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节拍 |
18分钟以内 |