插入式旋转阴极

优势特点：

1.插入式模块化结构，拆装维护极简，免开大门，单侧插拔更换，阴极整体从腔体侧壁法兰水平插入安装，更换靶材、检修磁芯、密封件无需完全开启腔体大门；单人即可抽拉拆装，大幅缩短停机维保时间 30% 以上。

2.集成一体化管线端头，冷却水、驱动电机、进气、供电全部集中在外侧端头，腔内部件简洁，无杂乱管线交叉，减少腔体内部积灰、镀膜飞溅物堆积。

3.高真空密封长寿命，专用端头旋转动密封设计，降低真空泄漏故障频次。