磁棒

优势特点:

1. 提高溅射效率;

2. 提高膜层沉积速率;

3. 提升膜层均匀性;

4. 提高靶材利用率;

5. 放电稳定性好;

6. 降低电弧(Arc)发生率;

7. 适用多种靶材;

8. 可根据工艺优化磁场设计;

9. 使用寿命长;

10. 维护、更换方便。