真空闸阀

优势特点：

提高生产效率：实现快速隔离不同真空腔体，缩短上下料时间。

保护真空泵：停机或故障时及时切断泵与腔体连接，避免返油或污染。

减少抽气时间：全通径设计使抽气速度更快，提升设备节拍。

支持多腔体设计：适用于Load Lock（装载腔）、工艺腔、转运腔等多腔体系统，实现连续生产。

保证镀膜质量：优异的密封性能有助于维持稳定的真空环境，提高膜层均匀性和一致性。