AR增透减反溅射镀膜机
设备介绍
AR增透减反溅射镀膜机多功能光学镀膜设备，围着笼架多个不同镀膜材质靶材装在设备外圈，轮流镀膜多层叠加的膜层。
应用领域
主要应用领域光学薄膜，如手机镜头、车载面板AR膜，也可用于HR膜、颜色膜等。
设备参数
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技术参数 |
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真空室尺寸 |
Φ1800×2100（可定制） |
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工件盘尺寸 |
Φ1600×1400 |
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工件盘转速 |
0-50rpm |
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膜厚控制 |
晶控 |
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溅射源 |
4对8个靶位 + AF（外镀） |
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离子源 |
阳极层离子源/PLASMA |
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高真空排气系统 |
3TMP |
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低真空排气系统 |
630机械泵+1200罗茨泵 |
设备性能
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性能 |
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真空极限 |
3.0×10-4Pa以下 |
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排气时间 |
15min(大气压~3.0×10-3Pa) |
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温度控制 |
0-300℃ |
