彩色膜溅射镀膜机
设备介绍
彩色膜溅射镀膜机是靶位装在中央产品围绕靶材旋转镀膜的结构，适合有内弧度产品的均匀度膜和厚膜层大应力产品的镀膜，有效去除应力。
应用领域
主要应用领域光学装饰膜，如手机背板颜色膜，也可用于AR膜等。
技术核心
稳定的溅射反应镀膜技术
公司特有的靶管结构设计，多段气路控制技术，恒压控制气量，可实现稳定控制磁控溅射速率，使用在线实时监测膜厚设计，保证了膜层的均匀性和产品的一致性，实现各种气体的反应膜层的均匀和颜色的一致。
设备参数
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技术参数 |
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真空室尺寸 |
Φ1600×2100（可定制） |
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工件盘尺寸 |
Φ1400 x 1650 |
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工件盘转速 |
0-50rpm |
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膜厚控制 |
晶控 |
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溅射源 |
4对8个靶位（内镀） |
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离子源 |
线型离子源 |
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高真空排气系统 |
机械罗茨泵组+3TMP |
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低真空排气系统 |
630机械泵+1200罗茨泵 |
设备性能
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性能 |
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真空极限 |
3.0×10-4Pa以下 |
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排气时间 |
15min(大气压~3.0×10-3Pa) |
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温度控制 |
0-300℃ |
